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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR100649292(B1) 申请公布日期 2006.11.24
申请号 KR20047010864 申请日期 2003.01.15
申请人 发明人
分类号 H01L27/06;H01L21/22;H01L21/266;H01L21/336;H01L21/74;H01L21/8234;H01L21/8249;H01L29/73 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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