Verfahren zur Mikrostrukturierung von Festkörperoberflächen

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Mikrostrukturierung von Festkörperoberflächen durch chemisches oder elektrochemisches Ätzen, bei dem die Festkörperoberfläche mit einem Ätzfluid unter Bildung von im Ätzfluid unlöslichen oder gering löslichen Zwischenprodukten behandelt wird. Durch zusätzliche Verwendung eines Partikelstrahls können diese Zwischenprodukte auf einfache Weise entfernt werden. Hiermit verbunden ist der Vorteil, dass eine schädigungsarme Mikrostrukturierung von Festkörpern ermöglicht wird.