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发明名称 Sputtertarget auf Basis von Titandioxid
摘要
申请公布号 DE50208389(D1) 申请公布日期 2006.11.23
申请号 DE20025008389 申请日期 2002.08.14
申请人 W.C. HERAEUS GMBH 发明人 SCHULTHEIS, MARKUS;SIMONS, CHRISTOPH, DR.;WEIGERT, MARTIN, DR.
分类号 C04B35/46;C23C14/34;B01J35/02;B01J37/02 主分类号 C04B35/46
代理机构 代理人
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