发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR MEASURING SURFACES |
摘要 |
<p>Vorrichtung zum Vermessen von Oberflächen und Verfahren vorzugsweise zur Anwendung der Vorrichtung, wobei die Vorrichtung eine Lichtquelle zum Erzeugen eines Mehrfarbenlichtstrahls (2) aufweist, wobei der Lichtstrahl (2) durch eine Abbildungsoptik (1 ) unter Ausnutzung der chromatischen Aberration von Optiken auf mehrere unterschiedlich weit von der Abbildungsoptik beabstandeten Punkte fokussierbar ist, wobei der fokussierte Lichtstrahl (9) auf einen Punkt der Oberfläche (3) lenkbar ist und wobei eine Sensorvorrichtung zum Detektieren des reflektierten Lichtstrahls (10) vorgesehen ist, ist im Hinblick auf ein möglichst großen Abstand zwischen Messkopf und -Objekt derart ausgestaltet, dass die Abbildungsoptik (1) eine Optik (4) zum gezielten Herbeiführen einer chromatischen Aberration und eine weitere Optik (6) zum Formen des aus der Abbildungsoptik (1) austretenden, fokussierten Lichtstrahls (9) aufweist.</p> |
申请公布号 |
WO2006122519(A1) |
申请公布日期 |
2006.11.23 |
申请号 |
WO2006DE00800 |
申请日期 |
2006.05.10 |
申请人 |
MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GMBH & CO. KG;STAUTMEISTER, TORSTEN;MESSERSCHMIDT, BERNHARD;WISSPEINTER, KARL |
发明人 |
STAUTMEISTER, TORSTEN;MESSERSCHMIDT, BERNHARD;WISSPEINTER, KARL |
分类号 |
G01B11/02;G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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