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发明名称 Nitride semiconductor device and method for manufacturing the same
摘要
申请公布号 KR100646696(B1) 申请公布日期 2006.11.23
申请号 KR20050012854 申请日期 2005.02.16
申请人 发明人
分类号 C23C16/34;C23C16/40;H01L21/205;H01L27/15;H01L29/04;H01L29/10;H01L29/26;H01L31/036;H01L31/0376;H01L31/12;H01L31/20 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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