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发明名称 MATERIALS PURIFICATION BY TREATMENT WITH HYDROGEN-BASED PLASMA
摘要 The present invention relates to a purification method for removing oxygen from materials, especially boron, by hydrogen-based plasma treatment.
申请公布号 WO2006122794(A2) 申请公布日期 2006.11.23
申请号 WO2006EP04692 申请日期 2006.05.17
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.;ALEKSEEVA, ANASTASIA;KOVNIR, KIRILL;CHIZHOV, PAVEL;BAITINGER, MICHAEL;GRIN, YURI 发明人 ALEKSEEVA, ANASTASIA;KOVNIR, KIRILL;CHIZHOV, PAVEL;BAITINGER, MICHAEL;GRIN, YURI
分类号 B01D53/32;B01D53/46;C01B35/02 主分类号 B01D53/32
代理机构 代理人
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