| 发明名称 | MEMS力学微探针及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种MEMS力学微探针及其制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)加工技术领域。该探针包括探针体、衬底和若干个固定锚点，探针体包括：T型探针头、弹性梁、两个梳齿电容及标尺结构，T型探针头通过与固定锚点连接的弹性梁悬浮于衬底之上，梳齿电容分别设置在T型探针头的肩部，梳齿电容的正/负极板与固定锚点相连，另一负/正极板与T型探针头相连，标尺结构包括：动尺和定尺两部分，动尺与T型探针头连接，定尺与固定锚点相连，探针体和衬底通过上述固定锚点固定连接。本发明利用弹性折梁受力形变与所受外力成正比，以及梳齿间静电力与梳齿间电压的平方成正比的原理，读出被测样品所受力的大小，具有读数简单、工艺易于实现的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN1866407A | 申请公布日期 | 2006.11.22 |
| 申请号 | CN200610083448.X | 申请日期 | 2006.05.31 |
| 申请人 | 北京大学 | 发明人 | 刘冬宁;张大成;贺学峰;李婷;杨芳;王颖;张美丽 |
| 分类号 | G12B21/12(2006.01);B81B1/00(2006.01) | 主分类号 | G12B21/12(2006.01) |
| 代理机构 | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人 | 贾晓玲 |
| 主权项 | 1、一种MEMS力学微探针，包括：探针体、衬底和若干个固定锚点，探针体包括：T型探针头、弹性梁、两个梳齿电容及标尺结构，T型探针头通过与固定锚点连接的弹性梁悬浮于衬底之上，梳齿电容分别设置在T型探针头的肩部，梳齿电容的正/负极板与固定锚点相连，另一负/正极板与T型探针头相连，正负极板间存在电势差，标尺结构包括：动尺和定尺两部分，动尺与T型探针头连接，定尺与固定锚点相连，探针体和衬底通过上述固定锚点固定连接。 | ||
| 地址 | 100871北京市海淀区颐和园路5号 | ||