发明名称 |
稳固安装的层叠体声谐振器 |
摘要 |
一种薄膜体声谐振器FBAR器件(100)包括基底(102)、该基底上方的声布拉格反射器(180)、在该声布拉格反射器上方的压电元件(116)和该压电元件上方的远侧电极(114)。声布拉格反射器包括与塑料布拉格层(184)邻接的金属布拉格层(182)。塑料布拉格层的塑料材料与金属布拉格层的金属的声阻抗之间的大比值提供了FBAR与基底之间的充分的声隔离,使FBAR器件的频率响应即便存在由于FBAR与基底之间不希望的声耦合而引起乱真的假象,也很少。 |
申请公布号 |
CN1868119A |
申请公布日期 |
2006.11.22 |
申请号 |
CN200480029992.5 |
申请日期 |
2004.10.29 |
申请人 |
阿瓦戈科技通用IP(新加坡)股份有限公司 |
发明人 |
J·D·拉森三世;S·L·艾利斯;Y·奥什迈安斯基;P·A·布拉利 |
分类号 |
H03H9/00(2006.01) |
主分类号 |
H03H9/00(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
程天正;魏军 |
主权项 |
1.一种薄膜体声谐振器(FBAR)器件,包括:基底;在基底上方的声布拉格反射器,该声布拉格反射器包括金属布拉格层和与该金属布拉格层邻接的塑料布拉格层;在声布拉格反射器上方的压电元件;和在压电元件上方的远侧电极。 |
地址 |
新加坡新加坡市 |