| 发明名称 | 识别用于拾放设备的参考集成电路的系统和方法 | ||
| 摘要 | 一种用于将集成电路芯片拾放设备对准于承载这些电路的晶片的原点的方法和系统，包括在所述晶片上光学搜索在集成电路的制造过程中形成于参考芯片上的至少一个参考图案，所述参考图案不同于其它芯片的可光学识别的图案。 | ||
| 申请公布号 | CN1866492A | 申请公布日期 | 2006.11.22 |
| 申请号 | CN200610071686.9 | 申请日期 | 2006.03.28 |
| 申请人 | ST微电子公司 | 发明人 | 琼－露易斯·夏奥德奥 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);H01L21/50(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L23/544(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 康建忠 |
| 主权项 | 1.一种用于将集成电路(IC)芯片拾放设备对准于承载这些电路的晶片(P′)的原点位置的方法，其中，在所述晶片上光学搜索在集成电路制造过程中形成于参考芯片(RC)上的至少一个参考图案，所述参考图案不同于其它芯片上的可光学识别图案，并且其中，所述参考芯片(RC)包括可在所述晶片的钝化层或者在最后金属化层中光学识别的几何图案(10，11，12，13)。 | ||
| 地址 | 法国蒙鲁日 | ||