检查用探测器及检查用探测器的制造方法

摘要

一种检查用探测器，包括：具有第1面和第2面的基板；输入突起部，形成在基板的第1面，且与半导体装置的多个输入端子的排列对应而形成；输出突起部，形成在基板的第1面，且与半导体装置的多个输出端子的排列对应而形成；多个输入接触部，形成在输入突起部上，分别与半导体装置的多个输入端子的每一个接触；多个输出接触部，形成在输出突起部上，分别与半导体装置的多个输出端子的每一个接触；多个输入导电部，形成在基板的第1面上的与形成有输入突起部的区域不同的区域，分别与多个输入接触部的每一个电连接；和多个输出导电部，形成在基板的第1面上的与形成有输出突起部的区域不同的区域，分别与多个输出接触部的每一个电连接。

主权项

1、一种检查用探测器，用于对具有多个输入端子和多个输出端子的半导体装置进行检查，包括：具有第1面和第2面的基板；输入突起部，其由树脂构成，形成在所述基板的所述第1面，且与所述半导体装置的多个所述输入端子的排列对应而形成；输出突起部，其由树脂构成，形成在所述基板的所述第1面，且与所述半导体装置的多个所述输出端子的排列对应而形成；多个输入接触部，形成在所述输入突起部上，分别与所述半导体装置的多个所述输入端子的每一个接触；多个输出接触部，形成在所述输出突起部上，分别与所述半导体装置的多个所述输出端子的每一个接触；多个输入导电部，形成在所述基板的第1面上的与形成有所述输入突起部的区域不同的区域，分别与多个所述输入接触部的每一个电连接；和多个输出导电部，形成在所述基板的第1面上的与形成有所述输出突起部的区域不同的区域，分别与多个所述输出接触部的每一个电连接。