| 发明名称 | 酸性处理液和处理铜表面的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种溶液及一种处理铜表面的方法，该铜表面与一种酸性处理液接触，所述的酸性处理液含有过氧化氢及至少一种五元杂环化合物以及另外至少一种选自具有下面通式的微结构改性剂：硫醇A、二硫化物B、硫化物C及硫代酰胺D：∴其中R<SUB>1</SUB>及R<SUB>2</SUB>＝烷基、链烯基、芳香基、芳烷基、特别是苄基、环烷基及它们的衍生物，且R<SUB>3</SUB>＝R<SUB>1</SUB>、R<SUB>1</SUB>-O、R<SUB>1</SUB>-S、氨基或取代氨基，其中R<SUB>1</SUB>及R<SUB>2</SUB>可特别为苯基或取代苯基。 | ||
| 申请公布号 | CN1285765C | 申请公布日期 | 2006.11.22 |
| 申请号 | CN01812307.4 | 申请日期 | 2001.07.06 |
| 申请人 | 埃托特克德国有限公司 | 发明人 | 乌韦·豪夫;哈里·菲尔豪普特尔;阿列克谢·斯蒂奥普;乌多·格里泽 |
| 分类号 | C23F1/18(2006.01);C23C22/52(2006.01);H05K3/38(2006.01) | 主分类号 | C23F1/18(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 于辉 |
| 主权项 | 1、一种处理铜表面的酸性处理液，其包含酸以及如下组分：a.过氧化氢及b.至少一种五元含氮杂环化合物其中c.另外含有至少一种选自有机硫醇、有机硫化物、有机二硫化物和硫代酰胺的微结构改性剂，所述有机硫醇具有通式：<img file="C018123070002C1.GIF" wi="530" he="164" />其中R<sub>1</sub>＝烷基、链烯基、芳香基、芳烷基、环烷基及它们的衍生物。 | ||
| 地址 | 德国柏林 | ||