发明名称 Support for a waveguide conducting mechanical waves
摘要
申请公布号 EP0921373(B1) 申请公布日期 2006.11.22
申请号 EP19980122618 申请日期 1998.11.27
申请人 ASM AUTOMATION SENSORIK MESSTECHNIK GMBH 发明人 STEINICH, KLAUS-MANFRED
分类号 G01B17/00;G10K11/24 主分类号 G01B17/00
代理机构 代理人
主权项
地址