| 发明名称 | 控制液体假配发的方法与系统 | ||
| 摘要 | 液体的假配发的控制通过记录处理基材时的时间、记录配发液体时的时间、以及比较处理基材时的时间与配发液体时的时间，并在需要进行假配发时产生假配发讯号。一种控制液体的假配发的系统，包括至少一信息储存组件，用来储存处理基材时的时间以及配发液体时的时间；至少一处理器比较处理基材时的时间与配发液体时的时间，以判断须否需要进行假配发。 | ||
| 申请公布号 | CN1285972C | 申请公布日期 | 2006.11.22 |
| 申请号 | CN200410056831.7 | 申请日期 | 2004.08.23 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 吴宏益;翁志荣;倪中政;游奕欣 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王燕秋 |
| 主权项 | 1.一种控制液体的假配发的方法，其特征在于，该方法至少包括：(a)记录处理一基材时的一时间，其中处理该基材时的该时间至少包括该基材的一移入时间；(b)记录配发一液体时的一时间，其中配发该液体时的该时间至少包括配发该基材时的一最终时间；(c)比较处理该基材时的该时间与配发该液体时的该时间，以判断是否需要进行一假配发，其中该步骤(c)至少包括产生介于该基材的该移入时间与配发该液体时的该最终时间之间的一时间差，当该时间差大于或等于一段时间时，进行一假配发，其中该段时间久到使该液体的一溶剂实质蒸发；以及(d)当需要进行该假配发时，产生一假配发讯号。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||