平台平面度测量方法

摘要

本发明涉及用光学仪器测量大型平台平面度的测量方法，将平面扫描仪架在被测平台上，目标I、目标II、目标III围绕测微准直望远镜放置，且平行于支脚AC和BC的连线，把光学头转向目标I，并把望远镜调焦到目标I上，调整支脚B的调整螺钉，使望远镜线初步对准目标I上条纹。再转向目标III调整扫描仪的测微鼓轮，使目标III接近望远镜线。光学头转向目标II，调整支脚A的调整螺钉，使望远镜线与目标II对中，经反复调整支脚高度和测微鼓轮，使望远镜线与三目标精确对中，建立了基准面，将目标IV放在要测量位置，用平面扫描仪的光学测微器读出该位置对基准面的偏差。本发明适合大型平台的平面度测量，通用性强、速度快、测量精度高。

主权项

1、平台平面度测量方法，其特征包括下列步骤：A、将平面扫描仪架设在被测量的平台(6)上，第一目标(I)、第二目标(II)、第三目标(III)围绕测微准直望远镜(2)放置，而且第一目标(I)和第三目标(III)的目标底座平行于第一支脚(A)与第三支脚(C)的连线AC，第二目标(II)的目标底座平行于第二支脚(B)与第三支脚(C)的连线BC，将光学头(5)转向第一目标(I)，并把测微准直望远镜(2)调焦到第一目标(I)上，然后通过调整第二支脚(B)的调整螺钉，使测微准直望远镜(2)十字线初步地对准第一目标(I)上目标带(9)的条纹图案；B、将光学头(5)转向第三目标(III)，并检查第三目标(III)上目标带(9)是否相当接近于测微准直望远镜(2)的十字线，如果第三目标(III)上的目标带和测微准直望远镜(2)的十字线相差较远，则转动平面扫描仪的测微鼓轮(8)，使第三目标(III)上目标带(9)接近于测微准直望远镜(2)的十字线，然后再把光学头(5)转向第一目标(I)，重复进行对第一目标(I)的A步骤所述调整；C、将光学头(5)转向第二目标(II)，把测微准直望远镜(2)调焦到第二目标(II)上，通过调整第一支脚(A)的调整螺钉，使测微准直望远镜(2)十字线与第二目标(II)对中；D、转动光学头(5)，重新瞄准第一目标(I)，然后精调第二支脚(B)的调整螺钉，使所选定宽度的目标带(9)与测微准直望远镜(2)十字线对中；E、再把光学头(5)转向第三目标(III)，把测微准直望远镜(2)调焦到第三目标(III)上，然后转动平面扫描仪的测微鼓轮(8)，使所选定宽度的目标带(9)与测微准直望远镜(2)的十字线对中，得出光学测微器(4)这次变化量，然后把测微鼓轮(8)又调回它所转过刻度值的一半，最后重新调整第二支脚(B)的调整螺钉，使第三目标(III)精确地与测微准直望远镜的十字线对中；F、反复瞄准第一目标(I)和第三目标(III)，调整平面扫描仪的测微鼓轮(8)和第二支脚(B)的调整螺钉，直到二目标都与测微准直望远镜(2)的十字线精确对中为止，然后锁紧第二支脚(B)的调整螺钉；G、测微准直望远镜(2)瞄准并调焦于第二目标(II)上，通过调整第一支脚(A)的调整螺钉使测微准直望远镜(2)的十字线与第二目标(II)精确对中，并锁紧第一支脚(A)的调整螺钉；H、重新瞄准观察三目标，检查三者是否均与测微准直望远镜(2)的十字线对中，如果均对中，则完成了基准面的建立；I、当基准面建立后，就可进行平台平面度的测量了，此时把第四目标(IV)放在要测量的位置上，然后用平面扫描仪的光学测微器(4)读出该位置对基准面的偏差；J、按步骤I在需要测量的位置上逐点进行测量，这样平台(6)的平面度就可以被测量出，所测对基准面的偏差数据标注在测点分布图上，由分布图上找出最大偏差值和最小偏差值，经计算得出平面度，即：Δ＝最大偏差值-最小偏差值。