基板搬送装置

摘要

本发明提供一种基板搬送装置，其能够不减低基板处理的生产量，在基板搬送路径上笔直的搬送基板的同时，将基板变更为倾斜姿势。辊支承机构(22)对搬送辊(21)在围绕向着与其旋转轴(211)的纵向方向部垂直的方向延伸的驱动轴(23)旋转而倾斜的状态下来进行支承，从而赋予为了变更基板的倾斜姿势而各搬送辊(21)必须具有的倾斜。由多个搬送辊(21)构成的基板搬送路径并不上下动作，通过各辊支承机构(22)对各搬送辊(21)赋予的倾斜，从而能够改变搬送中的基板的倾斜姿势。

主权项

1.一种基板搬送装置，通过并列的多个搬送辊来搬送基板，其特征在于，具有：第一支承机构，其对多个搬送辊中的一个搬送辊，以围绕其旋转轴自由旋转的方式进行支承；第二支承机构，其在使上述多个搬送辊中的、与由上述第一支承机构支承的搬送辊相邻的搬送辊围绕在与其旋转轴的纵向方向中央部分垂直的方向上延伸的水平轴进行旋转并倾斜了的状态下，对该搬送辊以围绕其旋转轴自由旋转的方式进行支承；旋转驱动机构，其对包含由上述第一支承机构以及第二支承机构支承的两个搬送辊的上述多个搬送辊进行旋转驱动，通过由上述旋转驱动机构旋转驱动的搬送辊对基板进行搬送，在上述第一支承机构以及第二支承机构所支承的两个搬送辊之间移动该基板，来变更该基板的倾斜姿势。