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发明名称 Method of bonding a sputtering target to a backing plate
摘要
申请公布号 EP1067209(B1) 申请公布日期 2006.11.22
申请号 EP20000305453 申请日期 2000.06.28
申请人 PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC. 发明人 KULKARNI, SHAILESH;GILMAN, PAUL S.;BLANCHET, JEAN-PIERRE
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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