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发明名称
摘要
申请公布号
JP3849105(B2)
申请公布日期
2006.11.22
申请号
JP19970043541
申请日期
1997.02.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/8247;H01L27/105;H01L21/8246;H01L27/10;H01L29/788;H01L29/792
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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