发明名称
摘要
申请公布号 JP3849110(B2) 申请公布日期 2006.11.22
申请号 JP19980181806 申请日期 1998.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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