| 发明名称 | 一种柔性带状物表面金属镀膜的方法及其专用设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种柔性带状物表面金属镀膜的方法及其专用设备。被镀物由放卷轴出发，经由导向轴，再由牵引轴，然后再经由过渡轴卷绕在收料轴上，在这个卷放过程当中，被镀物经过靶极的溅射区，由两组靶极同时对被镀物的两面进行溅射镀膜，一次性完成对被镀物的双面金属化涂层的镀制。该专用设备，包括真空室及与真空室相连接的真空系统，真空室上设有靶极移动门和传动移动门，靶极移动门上安装有磁控溅射靶极，传动移动门上安装有被镀物的卷绕机构。本发明生产效率高，成本低，适合于工业化生产；由于两组靶极采用固定与旋转靶极组合使用，所以镀制的膜层均匀，且镀透性良好。 | ||
| 申请公布号 | CN1865492A | 申请公布日期 | 2006.11.22 |
| 申请号 | CN200610044769.9 | 申请日期 | 2006.06.14 |
| 申请人 | 菏泽天宇科技开发有限责任公司 | 发明人 | 毕研文;王乃用;宋小斌;张强;江衍勤 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01);C23C14/56(2006.01);C23C14/54(2006.01) | 主分类号 | C23C14/35(2006.01) |
| 代理机构 | 济南泉城专利商标事务所 | 代理人 | 张贵宾 |
| 主权项 | 1.一种柔性带状物表面金属镀膜的方法，其特征在于：被镀物(8)由放卷轴(5)出发，经由导向轴，再由牵引轴(1)，然后再经由过渡轴(2)卷绕在收卷轴(5)上，在这个卷放过程当中，被镀物(8)经过靶极(4)的溅射区，由两组靶极(4)同时对被镀物(8)的两面进行溅射镀膜，一次性完成对被镀物(8)的双面金属化涂层的镀制。 | ||
| 地址 | 274000山东省菏泽市黄河东路861号 | ||