形成电镀图案的方法和制造薄膜磁头的方法

摘要

形成电镀图案的方法和制造薄膜磁头的方法。该形成电镀图案的方法能够确保进行了亲水性处理的抗蚀剂图案变窄和微型化，而不使该抗蚀剂图案变宽和变形。该方法包括以下步骤：使用抗蚀剂覆盖电镀晶种层的表面；对该抗蚀剂进行曝光和显影，以形成具有凹入部分的抗蚀剂图案；对该抗蚀剂图案进行亲水性处理；通过电镀在该抗蚀剂图案的凹入部分中淀积金属；去除该抗蚀剂图案；以及去除该电镀晶种层的暴露部分。该电镀晶种层是由金属制成的挥发性金属层，该挥发性金属层在该亲水性处理过程中被氧化，并且构成该挥发性金属层的金属的氧化物具有挥发性。

主权项

1、一种用于形成电镀图案的方法，包括以下步骤：使用抗蚀剂覆盖电镀晶种层的表面；对所述抗蚀剂进行曝光和显影，以形成具有凹入部分的抗蚀剂图案，该抗蚀剂图案具有预定的图案，并且其中将所述电镀晶种层暴露为内部底面；对所述抗蚀剂图案进行亲水性处理；通过电镀在所述抗蚀剂图案的凹入部分中淀积金属；去除所述抗蚀剂图案；以及去除所述电镀晶种层的暴露部分，其中，所述电镀晶种层是由金属制成的挥发性金属层，该挥发性金属层在所述亲水性处理过程中被氧化，并且构成该挥发性金属层的金属的氧化物具有挥发性。