| 发明名称 | 空心阴极型溅射靶的包装装置及包装方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供空心阴极型溅射靶的包装装置和包装方法，其中，在空心阴极型溅射靶中，设置能够覆盖该靶的空间部的尺寸的盖子；在该盖子上设置一个或多个通孔；将树脂袋置于其上，并对袋的内部进行真空抽吸。该空心阴极型溅射靶的包装装置和包装方法即使是对于由树脂袋覆盖的中空部的内部也能够进行真空抽吸。 | ||
| 申请公布号 | CN1867489A | 申请公布日期 | 2006.11.22 |
| 申请号 | CN200480030080.X | 申请日期 | 2004.09.14 |
| 申请人 | 日矿金属株式会社 | 发明人 | 冈部岳夫;永泽俊 |
| 分类号 | B65B31/04(2006.01);C23C14/34(2006.01) | 主分类号 | B65B31/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王海川;樊卫民 |
| 主权项 | 1.空心阴极型溅射靶的包装装置，包括：空心阴极型溅射靶、能够覆盖所述靶的空间部的尺寸的盖子、设置在所述盖子上的一个或多个通孔、能够覆盖所述通孔的尺寸的树脂袋、和用于真空抽吸所述袋的内部的装置。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||