一种太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明涉及可再生能源领域的硅薄膜太阳能电池技术领域，具体地说是一种太阳能电池及其制备方法，特征是在沉积窗口层p(1)前用H等离子体对透明导电膜T进行预处理形成表面处理层，并经由此表面处理层制备所述非晶硅pin结和微晶硅pin结，方法为：透明导电膜TCO基片准备、TCO基片电极激光刻槽、TCO表面处理层制备、叠层pin结制备、pin结刻槽划线、背电极制备、背电极刻槽，本发明提高了太阳能电池的转换效率，降低了S－W效应，整个工艺过程流程简单，易于控制，产品成品率和优等品率高，电池转换效率高，成本低，具有大规模批量生产的优势。

主权项

1、一种太阳能电池，由非晶硅/微晶硅叠层太阳能电池组件由透明衬底G，透明导电膜T，p型窗口层p(1)，非晶本征层i(1)，n型半导体层n(1)，p型半导体层p(2)，微晶本征层i(2)，n型半导体层n(2)和背电极M组成，其特征在于在沉积窗口层p(1)前用H等离子体对透明导电膜T进行预处理形成表面处理层，并经由此表面处理层制备所述非晶硅pin结和微晶硅pin结。