发明名称 |
用于镀覆表面的模块化装置 |
摘要 |
本发明涉及一种用来镀覆工件(10)的真空室,在该真空室内执行物理气相沉积(PVD)方法。本发明目的是创造一种上述类型的真空室,其可以具有模块化的阴极。为此,该真空室具有多个容纳装置,各容纳装置中可以设置多个阴极。容纳一个或多个阴极(40、42、44、46)的第一容纳装置(30)大致设置在真空室(20)的中心,两个容纳至少一个阴极(48、50、52、54)的辅助容纳装置(32、34)各以类似门的方式设置在真空室(20)的边缘。 |
申请公布号 |
CN1867692A |
申请公布日期 |
2006.11.22 |
申请号 |
CN200480030608.3 |
申请日期 |
2004.10.15 |
申请人 |
普拉蒂特公开股份有限公司;皮沃特公司 |
发明人 |
蒂博尔·切莱;莫伊米尔·伊列克 |
分类号 |
C23C14/32(2006.01);C23C14/34(2006.01);H01J37/34(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/32(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
张文;车文 |
主权项 |
1.一种用来在真空室(20)中镀覆工件(10)表面的模块化装置,-在真空室(20)中可以进行物理气相沉积(PVD)方法,其中-该真空室(20)包括至少一个阳极装置和多个阴极(40、42、44、46、48、50、52、54)的容纳装置;其中在至少一个阳极与阴极(40、42、44、46、48、50、52、54)之间能引燃多个电弧;-其中用于容纳至少一个阴极(40、42、44、46)的第一容纳装置(30)大致设置在真空室(20)的中心;以及-至少一个用于容纳至少一个阴极(48、50、52、54)的第二容纳装置(32、34)设置在真空室(20)的边缘,其特征在于:位于真空室(20)边缘的用于容纳至少一个阴极(48、50、52、54)的第二容纳装置(32、34)被设计成作为真空室(20)的可拆卸和/或平开的门。 |
地址 |
瑞士格伦兴 |