微波等离子体源及其产生方法

摘要

一种用于光谱仪的等离子体源，包括等离子体焰炬(10)，它被放置在波导管或谐振腔(40)内，微波电磁场的电场分量和磁场分量两者由于激发等离子体(54)，这产生了等离子体(54)，它通常具有椭圆剖面，样品被相对方便地注入其中但它仍旧提供等离子体与样品之间的良好热耦合。与现有技术的微波诱导等离子体系统相比，本发明提供显著改进的检测限制。较佳地，将焰炬与磁场分量的方向轴向对准且焰炬可以被放置在波导管或腔(40)内的谐振隔膜(32)内。

主权项

1.一种用于光谱仪的等离子体源，其特征在于，包括：等离子体焰炬，它具有至少一个通路用于提供等离子体形成气体，一种用于将微波电磁场施加到等离子体焰炬的装置，其中，所述等离子体火炬位于由所述装置所施加的微波电磁场中，所述装置所施加微波电磁场的电场分量和磁场分量二者激发等离子体形成气体的等离子体。