| 主权项 |
1.一种电容式加速感测器(capacitive acceleration sensor, CAS),其包含有: 一非单晶矽基底; 一复晶矽梁状(beam)结构,其具有一可动端(movable section),且该可动端具有一可动电极; 一复晶矽支承构件(supporter)设于该非单晶矽基底 上,用来固定该梁状结构,使得该梁状结构与该非 单晶矽基底之间相隔一距离, 一固定电极(stationary electrode)设于该非单晶矽基底 上,相对应于该梁状结构之该可动端,且该固定电 极与该可动电极构成一平板电容(plate capacitor);以 及 一薄膜电晶体(thin film transistor, TFT)控制电路设于 该非单晶矽基底上,并电连接于该平板电容。 2.如申请专利范围第1项之电容式加速感测器,其中 该非单晶矽基底系为一玻璃基底。 3.如申请专利范围第2项之电容式加速感测器,其中 该薄膜电晶体控制电路系为一低温复晶矽(low temperature polysilicon, LTPS)薄膜电晶体控制电路。 4.如申请专利范围第1项之电容式加速感测器,其中 该非单晶矽基底系为一石英基底。 5.如申请专利范围第4项之电容式加速感测器,其中 该薄膜电晶体控制电路系为一高温复晶矽(high temperature polysilicon, HTPS)薄膜电晶体控制电路。 6.如申请专利范围第1项之电容式加速感测器,其中 该固定电极系包含有铝(Al)、钛(Ti)、铂(Pt)或合金 材质。 7.如申请专利范围第1项之电容式加速感测器,其中 该梁状结构与该支承构件系为一体成型。 8.如申请专利范围第7项之电容式加速感测器,其中 该梁状结构与该支承构件皆系包含有复晶矽( polysilicon)。 9.如申请专利范围第1项之电容式加速感测器,其中 该可动电极系包含有掺杂(doped)复晶矽或金属材料 。 10.如申请专利范围第1项之电容式加速感测器,其 中该非单晶矽基底表面另包含有一TFT显示区域,系 用来显示该电容式加速感测器所侦测到的压力变 化値。 11.一种电容式加速感测器(capacitive acceleration sensor , CAS),其包含有: 一绝缘基底; 一悬臂梁状(cantilever beam)结构设于该绝缘基底上, 其具有一可动端(movable section),且该可动端具有一 可动电极; 一固定电极(stationary electrode)设于该绝缘基底上, 相对应于该悬臂梁状结构之该可动端,并与该可动 电极构成一平板电容(plate capacitor);以及 一控制电路(control circuit)设于该绝缘基底上,并电 连接于该平板电容,该控制电路包含有一低温复晶 矽薄膜电晶体(low temperature polysilicon thin film transistor, LTPS TFT)控制电路。 12.如申请专利范围第11项之电容式加速感测器,其 中该固定电极系包含有铝(Al)、钛(Ti)、铂(Pt)或合 金材质。 13.如申请专利范围第11项之电容式加速感测器,其 中该悬臂梁状结构系包含有复晶矽(polysilicon)。 14.如申请专利范围第11项之电容式加速感测器,其 中该可动电极系包含有掺杂(doped)复晶矽或金属材 料。 15.如申请专利范围第11项之电容式加速感测器,其 中该绝缘基底系为一玻璃基底。 16.如申请专利范围第11项之电容式加速感测器,其 中该绝缘基底表面另包含有一TFT显示区域,系用来 显示该电容式加速感测器所侦测到的压力变化値 。 17.一种电容式加速感测器(capacitive acceleration sensor , CAS),其包含有: 一绝缘基底; 一悬臂梁状(cantilever beam)结构设于该绝缘基底上, 其具有一可动端(movable section),且该可动端具有一 可动电极; 一固定电极(stationary electrode)设于该绝缘基底上, 相对应于该悬臂梁状结构之该可动端,并与该可动 电极构成一平板电容(plate capacitor);以及 一控制电路(control circuit)设于该绝缘基底上,并电 连接于该平板电容,该控制电路包含一高温复晶矽 薄膜电晶体(high temperature polysilicon thin film transistor, HTPS TFT)控制电路。 18.如申请专利范围第17项之电容式加速感测器,其 中该固定电极系包含有铝(Al)、钛(Ti)、铂(Pt)或合 金材质。 19.如申请专利范围第17项之电容式加速感测器,其 中该悬臂梁状结构系包含有复晶矽(polysilicon)。 20.如申请专利范围第17项之电容式加速感测器,其 中该可动电极系包含有掺杂(doped)复晶矽或金属材 料。 21.如申请专利范围第17项之电容式加速感测器,其 中该绝缘基底系为一石英基底。 22.如申请专利范围第17项之电容式加速感测器,其 中该绝缘基底表面另包含有一TFT显示区域,系用来 显示该电容式加速感测器所侦测到的压力变化値 。 图式简单说明: 图一为习知电容式加速感测器的剖面示意图。 图二为本发明电容式加速感测器的剖面示意图。 |
