| 主权项 |
1.一种半导体生产设备用的环境监测及控制辅助 装置的设计方法,其包含下列步骤: 提供一环境监测及控制辅助装置与半导体厂内具 有半导体生产设备通讯协定之元件进行通讯并交 换讯息; 该交换讯息由该环境监测及控制辅助装置中之一 情报运算控制处理单元解读并判读转换成其一内 部讯息; 该环境监测及控制辅助装置中之一资料收集单元 依该内部讯息透过该环境监测及控制辅助装置中 之一输出输入单元进行环境监测情报收集; 将该情报再交由该情报运算控制处理单元处理; 该情报运算控制处理单元根据该环境监测及控制 辅助装置中之一程式参数储存媒体之内容决定运 算方法; 该情报运算控制处理单元判读该情报结果;以及 将该情报储存于该资料储存媒体并依据该半导体 生产设备通讯协定将情报送出。 2.如申请专利范围第1项所述之半导体生产设备用 的环境监测及控制辅助装置的设计方法,其中该半 导体生产设备之通讯协定系为满足半导体生产设 备通讯协定之通讯协定。 3.如申请专利范围第2项所述之半导体生产设备用 的环境监测及控制辅助装置的设计方法,其中该通 讯协定系为SECS通讯。 4.如申请专利范围第1项所述之半导体生产设备用 的环境监测及控制辅助装置的设计方法,其中该内 部讯息系为该环境监测及控制辅助装置中之命令 序列。 5.如申请专利范围第1项所述之半导体生产设备用 的环境监测及控制辅助装置的设计方法,其中该情 报运算控制处理单元系为一整合型的计算处理单 元,且该输出输入单元系位于该整合型的计算处理 单元之内部,而该资料收集单元可直接利用该输出 输入单元进行环境监测情报收集。 6.如申请专利范围第1项所述之半导体生产设备用 的环境监测及控制辅助装置的设计方法,其中该情 报运算控制处理单元系为该环境监测及控制辅助 装置之判断、分析与产生命令的核心。 7.如申请专利范围第5项所述之半导体生产设备用 的环境监测及控制辅助装置的设计方法,其中该程 式参数储存媒体系位于该整合型的计算处理单元 之内部,且该参数储存媒体可经由该半导体生产设 备通讯协定进行修改,用以改变资讯情报收集的方 法。 8.如申请专利范围第1项所述之半导体生产设备用 的环境监测及控制辅助装置的设计方法,其中该资 料储存媒体系位于该整合型的计算处理单元之内 部,且该资料为半导体设备各项讯息之记录,用以 提供半导体整合系统查询。 9.如申请专利范围第1项所述之半导体生产设备用 的环境监测及控制辅助装置的设计方法,其进一步 包括提供一看门狗程序之步骤,俾当发生该环境监 测及控制辅助装置中断无法执行的情况时看该门 狗程序会将该环境监测及控制辅助装置重置,以重 新启动该装置。 10.如申请专利范围第9项所述之半导体生产设备用 的环境监测及控制辅助装置的设计方法,其中该看 门狗程序系位于该情报运算控制处理单元中。 11.一种半导体生产设备用之程式资讯媒体,其包括 : 一半导体生产设备通讯协定单元,使该环境监测及 控制辅助装置具有与一半导体生产设施进行通讯 能力的功能; 一资料储存媒体,用以储存资料; 一程式参数储存媒体; 一情报运算控制处理单元,耦接至该半导体生产设 备通讯协定单元、资料储存媒体及程式参数储存 媒体,用以控制该环境监测及控制辅助装置之具有 判读与分析能力之功能; 一资料收集单元,耦接至该情报运算控制处理单元 ,用以使该环境监测及控制辅助装置具有储存收集 半导体生产设备情报的媒体;以及 一输出输入单元,耦接至该情报运算控制处理单元 ,使其具有透过与半导体设备的连接埠进行情报收 集的功能。 12.如申请专利范围第11项所述之半导体生产设备 用之程式资讯媒体,其中该情报运算控制处理单元 系为一整合型的计算处理单元。 13.如申请专利范围第12项所述之半导体生产设备 用之程式资讯媒体,其中该整合型的计算处理单元 之内部进一步包括:一计算逻辑单元、一资料记忆 媒体、一通讯埠、一数位输入输出埠、一类比输 入埠以及一时脉输入输出埠等。 14.如申请专利范围第11项所述之半导体生产设备 用之程式资讯媒体,其中该半导体生产设备通讯协 定单元具有与半导体生产设施进行SECS通讯能力的 功能。 15.如申请专利范围第13项所述之半导体生产设备 用之程式资讯媒体,其中该整合型的计算处理单元 进一步包括一看门狗程序,俾当发生该环境监测及 控制辅助装置中断无法执行的情况时看该门狗程 序会将该环境监测及控制辅助装置重置,以重新启 动该装置。 16.一种半导体生产设备用的环境监测及控制辅助 装置,其包括: 一印刷电路板,用以承载后述之元件; 一整合型计算处理单元,系置于该印刷电路板上; 一介面电路,系置于该印刷电路板上且耦接至该整 合型计算处理单元,系与外部单元之隔离介面电路 ; 一电源模组,系置于该印刷电路板上,用以供应该 装置所需之电源; 一通讯连接埠,系置于该印刷电路板上且耦接至该 整合型计算处理单元,系为与一半导体电脑整合制 造系统进行通讯之通讯连接埠; 一连接埠,耦接至该整合型计算处理单元,用以与 一受监控之半导体设备连接;以及 一扩充介面,耦接至该整合型计算处理单元,用以 扩充该装置之连接数量。 17.如申请专利范围第16项所述之半导体生产设备 用的环境监测及控制辅助装置,其中该整合型计算 处理单元进一步包括:一计算逻辑单元、一资料记 忆媒体、一通讯埠、一数位输入输出埠、一类比 输入埠以及一时脉输入输出埠等。 18.如申请专利范围第16项所述之半导体生产设备 用的环境监测及控制辅助装置,其中该介面电路系 为与外部单元隔离之介面电路。 19.如申请专利范围第16项所述之半导体生产设备 用的环境监测及控制辅助装置,其中该通讯连接埠 系为与半导体设施进行通讯之通讯连接埠。 20.如申请专利范围第19项所述之半导体生产设备 用的环境监测及控制辅助装置,其中该通讯连接埠 系为SECS通讯连接埠。 21.如申请专利范围第16项所述之半导体生产设备 用的环境监测及控制辅助装置,其中该连接埠系为 串列通讯连接埠。 22.如申请专利范围第16项所述之半导体生产设备 用的环境监测及控制辅助装置,其中该与连接埠系 为乙太网路通讯连接埠。 23.如申请专利范围第16项所述之半导体生产设备 用的环境监测及控制辅助装置,其进一步包括一壳 体,以容置及保护该环境监测及控制辅助装置。 24.如申请专利范围第17项所述之半导体生产设备 用的环境监测及控制辅助装置,其中该整合型计算 处理单元进一步包括一看门狗程序,俾当发生该环 境监测及控制辅助装置中断无法执行的情况时看 该门狗程序会将该整合型计算处理单元重置,以重 新启动该装置。 图式简单说明: 图1为一示意图,其绘示本案一较佳实施例之资讯 媒体单元的设计方法的示意图。 图2为一示意图,其绘示本发明之环境监测及控制 辅助装置与半导体生产设备进行通讯时之资讯处 理与等待回覆之流程示意图。 图3为一示意图,其绘示本案之环境监测及控制辅 助装置与半导体生产设备通讯之资讯处理并进行 控制命令送出与回覆之流程示意图。 图4为一示意图,其绘示本案之情报运算控制处理 单元4之方块示意图。 图5为一示意图,其绘示本案之环境监测及控制辅 助装置与半导体电脑整合制造系统连线以及对半 导体设备进行环境监控之示意图。 图6为一示意图,其绘示本案之环境监测及控制辅 助装置以多重连线与半导体电脑整合制造系统连 线及对半导体设备进行多重环境监控之示意图。 图7为一示意图,其绘示本案之环境监测及控制辅 助装置以单一SECS通讯埠对半导体设备进行多重环 境监控之示意图。 图8为一示意图,其绘示本案利用整合型计算处理 单元4设计环境监测及控制辅助装置10之示意图。 |
