| 主权项 |
1.一种薄膜图案之制造方法,其特征乃具有 于具有长轴及短轴之画素范围,以液滴吐出方式涂 布液状体材料的液状体涂布处理, 和于前述液状体涂布处理中,将液滴吐出装置之喷 嘴头向前述画素范围之短轴方向扫瞄,于该扫瞄之 过程中,由备于该喷嘴头之喷墨喷嘴,向该画素范 围吐出液滴的短轴方向吐出处理。 2.如申请专利范围第1项之薄膜图案之制造方法,其 中,前述短轴方向吐出处理中,对于1个之前述画素 范围进行复数次之液滴吐出, 该复数次之液滴吐出乃以至少二次之不同之前述 喷墨喷嘴进行者。 3.如申请专利范围第2项之薄膜图案之制造方法,其 中,前述喷嘴头乃具备复数之前述喷墨喷嘴, 对于前述1个之画素范围之复数次之液滴吐出乃以 至少二个之邻接之前述喷墨喷嘴,略同时乃至逐步 地加以进行者。 4.如申请专利范围第2项或第3项之薄膜图案之制造 方法,其中,对于前述1个之画素范围之复数次之液 滴吐出乃以至少2种之液滴吐出量加以进行者。 5.如申请专利范围第2项或第3项之薄膜图案之制造 方法,其中,对于前述1个之画素范围之复数次之液 滴吐出乃令该液滴做为至少2种之粘度加以进行者 。 6.如申请专利范围第1项至第3项之任一项之薄膜图 案之制造方法,其中,前述喷嘴头乃具备复数之前 述喷墨喷嘴, 前述复数之喷墨喷嘴乃于前述喷嘴头,配置于略直 线上, 于前述短轴方向吐出处理中,规定前述复数之喷墨 喷嘴之配置的直线则对于设定成前述短轴方向之 扫瞄线,做为倾斜交错之状态,扫瞄前述喷嘴头者 。 7.如申请专利范围第2项或第3项之薄膜图案之制造 方法,其中,对于前述1个之画素范围之复数次之液 滴吐出乃对于该画素范围最初弹着之液滴略为完 全乾燥之前,进行最后之液滴吐出者。 8.如申请专利范围第2项或第3项之薄膜图案之制造 方法,其中,对于前述1个之画素范围之复数次之液 滴吐出中,于对于该画素范围之最初之液滴吐出和 最后之液滴吐出间,进行着弹于该画素范围之液滴 未到达完全乾燥之程度的乾燥处理。 9.如申请专利范围第1项至第3项之任一项之薄膜图 案之制造方法,其中,具有于前述液状体涂布处理, 将液滴吐出装置之喷嘴头,向前述画素范围之长轴 方向扫瞄,于该扫瞄过程,从备于该喷嘴头之喷墨 喷嘴,向该画素范围吐出液滴之长轴方向吐出处理 。 10.如申请专利范围第1项至第3项之任一项之薄膜 图案之制造方法,其中,于前述长轴方向吐出处理 中,规定前述复数之喷墨喷嘴之配置的直线则对于 设定成前述长轴方向之扫瞄线,做为倾斜交错之状 态,扫瞄前述喷嘴头者。 11.如申请专利范围第2项或第3项之之薄膜图案之 制造方法,其中,对于前述1个之画素范围之复数次 之液滴吐出乃重叠经由一个之液滴弹着所形成之 薄膜之一部分,和经由其他液滴弹着所形成之薄膜 之一部分地加以进行。 12.一种有机电场发光元件之制造方法,于电极间具 有发光层和正孔注入层之发光元件,形成于基板之 有机电场发光元件之制造方法,其特征乃具有 将前述正孔注入层,经由形成于液滴吐出装置之喷 墨头,吐出液滴地加以形成之工程, 前述正孔注入层乃形成于具有长轴及短轴的画素 范围者, 于形成前述正孔注入层之工程中,将前述喷墨头向 前述画素范围之短轴方向扫瞄,于该扫瞄之过程中 ,从该喷墨喷嘴,向该画素范围吐出液滴。 13.一种有机电场发光元件之制造方法,于电极间具 有发光层和正孔注入层之发光元件,形成于基板之 有机电场发光元件之制造方法,其特征乃具有 将前述发光层,经由形成于液滴吐出装置之喷墨头 ,吐出液滴地加以形成之工程, 前述发光层乃形成于具有长轴及短轴的画素范围 者, 于形成前述发光层之工程中,将前述喷墨头向前述 画素范围之短轴方向扫瞄,于该扫瞄之过程中,从 该喷墨喷嘴,向该画素范围吐出液滴。 14.一种彩色滤光片之制造方法,于电极间具有发光 层和正孔注入层之发光元件,形成于基板而成,向 发光方向侧形成彩色滤光片之彩色滤光片之制造 方法,其特征乃具有 将前述彩色滤光片,经由形成于液滴吐出装置之喷 墨头,吐出液滴地加以形成之工程, 前述彩色滤光片乃形成于具有长轴及短轴的画素 范围者, 于形成前述彩色滤光片之工程中,将前述喷墨头向 前述画素范围之短轴方向扫瞄,于该扫瞄之过程中 ,从该喷墨喷嘴,向该画素范围吐出液滴。 15.一种电浆显示面板之制造方法,具有形成于基板 之电极而成之电浆显示面板之制造方法,其特征乃 具有 将前述电极,经由形成于液滴吐出装置之喷墨头, 吐出液滴地加以形成之工程, 前述电极乃形成于具有长轴及短轴的特定范围者, 于形成前述电极之工程中,将前述喷墨头向前述特 定范围之短轴方向扫瞄,于该扫瞄之过程中,从该 喷墨喷嘴,向该特定范围吐出液滴。 16.一种液晶显示面板之制造方法,具有形成于基板 之彩色滤光片而成之液晶显示面板之制造方法,其 特征乃具有 将前述彩色滤光片,经由形成于液滴吐出装置之喷 墨头,吐出液滴地加以形成之工程, 前述彩色滤光片乃形成于具有长轴及短轴的特定 范围者, 于形成前述彩色滤光片之工程中,将前述喷墨头向 前述特定范围之短轴方向扫瞄,于该扫瞄之过程中 ,从该喷墨喷嘴,向该特定范围吐出液滴。 17.如申请专利范围第1项至第3项之任一项之薄膜 图案之制造方法,其中,前述液状体材料乃形成光 阻膜者。 图式简单说明: [图1]本发明之第1实施形态之薄膜图案之制造方法 之说明图。 [图2]对于同上之涂布方法之其他之说明图。 [图3]本发明之第2实施形态之薄膜图案之制造方法 之说明图。 [图4]本发明之第3实施形态之薄膜图案之制造方法 之说明图。 [图5]显示同上实施形态之变形例的说明图。 [图6]显示有机EL装置之制造方法之剖面图。 [图7]显示电浆显示面板之制造方法之剖面图。 [图8]显示液晶装置之制造方法之剖面图。 [图9]关于本发明之实施形态之电子机器之一例图 。 [图10]关于本发明之实施形态之电子机器之一例图 。 [图11]关于本发明之实施形态之电子机器之一例图 。 [图12]显示以往之液滴吐出方式之涂布方法的说明 图。 |
