| 主权项 |
1.一种加速度感测器,系具备有:使在一方的面具有 固定电极的两片电极基板的前述固定电极之间相 对向的电极基板对,和藉由为了在该电极基板对中 设置特定的间隔之间隔件来加以挟持、以做为有 可动电极之功能的振动板,以及与重心重合而被安 装于该振动板的中心的重物; 以通过前述重物的重心且与前述电极基板垂直的 轴作为第一轴,依据前述固定电极与前述可动电极 之间的电容的变化,检测出互相垂直的前述第一轴 、第二轴、及第三轴的3轴方向之加速度;其特征 在于: 前述重物系形成,由圆柱状的柄部、及以大于该柄 部的直径构成圆盘状之本体部所成之伞状; 前述电极基板系设置用来覆盖:由以前述第一轴为 中心、具有比前述柄部大的内径之环状的第一固 定电极,以及藉由与前述第二轴及第三轴相对而构 成45度的角度之分割轴、分别分割为二的第二及 第三固定电极,所构成的前述固定电极的表面的驻 极体层;同时至少于一方的中央部设置大于前述柄 部的直径、小于前述第一固定电极的内径之贯通 孔而构成; 于使前述第二及前述第三固定电极之间相对向的 前述电极基板对的外侧,具备前述重物的前述本体 部,藉由前述贯通孔,使前述柄部连接于前述振动 板。 2.如申请专利范围第1项之加速度感测器,其中,不 须从前述电极基板的表面突出及陷入,而形成前述 固定电极。 3.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中, 除了施以镍或镀金处理于以铜箔所形成的前述固 定电极之外,另藉由涂布、烧成氟树脂的水性分散 液、或黏贴氟系薄膜,形成前述驻极体层。 4.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中, 藉由四条狭缝将前述振动板分割形成:位于周边部 并藉着前述间隔件加以固定的固定部,和位于中央 部且具备前述重物的振动部,以及在周方向等间隔 形成复数、连结前述固定部与前述振动部的弹性 支持部; 以相邻的各狭缝的振动部侧的端部与固定部侧的 端部在径方向重合的方式,沿着周方向等间隔地设 置前述狭缝。 5.如申请专利范围第4项之加速度感测器,其中,由: 位于前述固定部侧的外轨道、与位于前述振动部 侧的内轨道、以及连结前述外轨道与前述内轨道 的略S字型的连结轨道,构成前述狭缝。 6.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中, 前述振动板系由SK材、不锈钢、磷青铜、Be-Cu、Ti- Cu中任一个所构成。 图式简单说明: 第1图系与本发明之实施形态有关的加速度感测器 之构成例的剖面图。 第2图系设置于第1图之加速度感测器的电极基板 的固定电极的配线图。 第3图系表示第1图之加速度感测器的振动板的形 状图。 第4图系第1图之加速度感测器的振动板与安装于 振动板的重物之斜视图。 |
