发明名称 Method of oxidation for polycide in a flash EEPROM
摘要
申请公布号 KR100647002(B1) 申请公布日期 2006.11.17
申请号 KR20000035688 申请日期 2000.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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