发明名称 Effusion cell and method for depositing substrate with the effusion cell
摘要
申请公布号 KR100647585(B1) 申请公布日期 2006.11.17
申请号 KR20030071852 申请日期 2003.10.15
申请人 发明人
分类号 H05B33/10 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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