含有氧化锌或铟锌混合氧化物奈米线的气体感测器及侦测NOx气体的方法GAS SENSOR WITH NANOWIRES OF ZINC OXIDE OR INDIUM/ZINC MIXED OXIDES AND METHOD OF DETECTING NOX GAS

摘要

一种气体感测器被揭示，其包含位于一基材之一表面上的两间隔开的金属电极；及附着于该基材的表面上且连接该两金属电极的半导体薄膜。该半导体薄膜包含氧化锌或铟锌混合氧化物，且该氧化锌或铟锌混合氧化物以奈米线形式构成该半导体薄膜的一气体感测表面，其中该奈米线具有介于50–900奈米的直径。本发明亦揭示使用该气体感测器来侦测NOx气体是否存在的方法。