降低垂直式探针整体应力之方法及其探针结构

摘要

本发明系一种降低垂直式探针整体应力之方法及其探针结构，该垂直式探针结构包括：一针尖部，一插置部，以及一弯曲部，其中，该弯曲部具备半径较小之第一圆弧，及半径远大于第一圆弧半径之第二圆弧，该第二圆弧系远离针尖部紧接着第一圆弧设置，且使第二圆弧与第一圆弧以非常平滑的方式相连接。藉由该具有不同半径之复数圆弧之设置，得以降低检测时探针之整体应力，避免探针于操作时断裂。