半导体元件及具有金属矽化物的导线之制造方法

摘要

一种具有金属矽化物的导线之制造方法，先于基底上，形成一层导体层。接着，于导体层上形成一层硬罩幕层。然后，以硬罩幕层为罩幕，移除部份导体层。之后，于导体层及硬罩幕层之侧壁形成一间隙壁。接下来，移除硬罩幕层。随后，于导体层上形成一金属矽化物。