发明名称 测试头
摘要 本发明提出一种测试头,适于装设在一机械手臂上以吸取一样品。此测试头包括一样品压着元件以及一样品吸取元件。样品压着元件与机械手臂连接,其中样品压着元件具有一流道、一进气孔以及一出气孔,而进气孔以及出气孔系与该流道连通。样品吸取元件与样品压着元件连接,以吸取样品。前述之测试头可吸取样品进行测试,并且对样品进行散热。
申请公布号 TW200639965 申请公布日期 2006.11.16
申请号 TW094114671 申请日期 2005.05.06
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 蔡振彬
分类号 H01L21/68(2006.01) 主分类号 H01L21/68(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 高雄市楠梓加工出口区经三路26号