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发明名称
测试头
摘要
本发明提出一种测试头,适于装设在一机械手臂上以吸取一样品。此测试头包括一样品压着元件以及一样品吸取元件。样品压着元件与机械手臂连接,其中样品压着元件具有一流道、一进气孔以及一出气孔,而进气孔以及出气孔系与该流道连通。样品吸取元件与样品压着元件连接,以吸取样品。前述之测试头可吸取样品进行测试,并且对样品进行散热。
申请公布号
TW200639965
申请公布日期
2006.11.16
申请号
TW094114671
申请日期
2005.05.06
申请人
日月光半导体制造股份有限公司
发明人
蔡振彬
分类号
H01L21/68(2006.01)
主分类号
H01L21/68(2006.01)
代理机构
代理人
詹铭文;萧锡清
主权项
地址
高雄市楠梓加工出口区经三路26号
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