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经营范围
发明名称
低温测试机台之调节模组
摘要
一种低温测试机台之调节模组,用以将一低温流体输送至一低温测试机台,该调节模组系包含一壳体、一调节装置及一隔温单元,其中该调节装置系设置于该壳体内,且系藉由该隔温单元所包覆,使其本身能够隔离于该壳体外之一环境温度,藉以避免调节装置结霜所造成之问题。
申请公布号
TW200639962
申请公布日期
2006.11.16
申请号
TW094115347
申请日期
2005.05.12
申请人
日月光半导体制造股份有限公司
发明人
卢忻杰
分类号
H01L21/66(2006.01)
主分类号
H01L21/66(2006.01)
代理机构
代理人
花瑞铭
主权项
地址
高雄市楠梓加工出口区经三路26号
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