发明名称 低温测试机台之调节模组
摘要 一种低温测试机台之调节模组,用以将一低温流体输送至一低温测试机台,该调节模组系包含一壳体、一调节装置及一隔温单元,其中该调节装置系设置于该壳体内,且系藉由该隔温单元所包覆,使其本身能够隔离于该壳体外之一环境温度,藉以避免调节装置结霜所造成之问题。
申请公布号 TW200639962 申请公布日期 2006.11.16
申请号 TW094115347 申请日期 2005.05.12
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 卢忻杰
分类号 H01L21/66(2006.01) 主分类号 H01L21/66(2006.01)
代理机构 代理人 花瑞铭
主权项
地址 高雄市楠梓加工出口区经三路26号