液滴喷出装置、结构体形成方法及光电装置之制造方法

摘要

本发明之液滴喷出装置包括：液滴喷出部，其向基板喷出包含结构体形成材料之液滴；及乾燥机构，其系为了使包含结构体形成材料之结构体形成于基板上，而使喷附于基板之液滴乾燥。乾燥机构包含能量输出部，其系为了使液滴中之结构体形成材料流动，而向喷附于基板之液滴输出能量；及能量分布控制部，其将由上述能量输出部所输出之能量的能量分布，控制为使结构体形成材料以对应于所应形成之结构体的结构分布而分布之方式流动。根据如此所构成之液滴喷出装置，可形成具有所期望之结构分布之结构体。