于氮化钛上形成钛酸钡膜之方法

摘要

一种于氮化钛上形成钛酸钡膜之方法，系先于一基材表面形成一氮化钛膜，再将具有氮化钛膜之基材置入一含钡离子(Ba^2＋)之硷性溶液中，将溶液温度保持在约50℃以上，即可于该氮化钛膜表面形成一钛酸钡膜，其制程简便迅速且可避免碳酸钡之污染，同时该钛酸钡膜可具有高方向性者。