用于清洗含低介电常数(LOW-K)微电子装置之具有极性及非极性溶剂混合物之液态氟化物清洁剂

摘要

本发明系关于一种液态移除组成物及方法，用于自其上具有灰化后残留物、蚀刻后残留物及／或底部抗反射涂层(BARC)残留物之微电子装置移除该残留物。此液态移除组成物包含一氟化物源及一两亲媒性溶剂。此组成物可达成残留物质自微电子装置的高效率移除，而不会损坏使用于微电子装置结构中之金属物种或低k介电材料。