藉由反应-射出成形制造多孔化学机械研磨垫之方法

摘要

本发明提供一种形成化学机械研磨垫之方法，包含提供含有聚合材料之槽，提供含有微球之储仓，及提供含有异氰酸酯之异氰酸酯贮槽。本发明进一步提供将该聚合材料和该微球输送至预混制备槽，形成该聚合材料与该微球之预混物，将该预混物输送至预混运转槽，以及形成该预混物与该异氰酸酯之混合物。此外，本发明提供将该混合物射出至封闭模具内，于该模具内固化该研磨垫，以及将该槽、异氰酸酯贮槽和该模具中之至少一者除气。