| 摘要 |
电流变化测定装置1是具备：用以通电于包含半导体电路的被测定样品10的电压源30，及一面扫描雷射光束一面将雷射光束照射在被测定样品10的光束照射手段20，及藉由电压源30被通电且测定随着藉由光束照射手段20照射着雷射光束的被测定样品10的光束照射的电流变化量的电流电压变换手段40。又，电流电压变换手段40是具有：具被连接于被测定样品10的输入端子的放大器41，及被连接于放大器41的输出端子与输入端子之间的变压器42。这时候，电流电压变换手段利用变压器之故，因而可将流进电流电压变换手段的电流中随着光束照射的电流变化量选择性地变换成电压而执行检测。藉此，对于静止电流大的被测定样品也可高灵敏度地测定电流变化量。 |
