藉由反应-射出成形制造多孔化学机械研磨垫之装置

摘要

本发明提供一种形成化学机械研磨垫之装置，包含含有聚合材料之槽，含有微球之储仓，含有异氰酸酯之异氰酸酯贮槽，以及用来形成该聚合材料与该微球之预混物之预混制备槽。本发明进一步提供用于储存该预混物之预混运转槽，用于形成该预混物与该异氰酸酯之混合物之混合器，用于反应–射出成形该混合物之封闭模具，及用于将该槽、异氰酸酯贮槽或该模具中之至少一者除气之真空。