| 发明名称 |
KATHODE FÜR VAKUUMZERSTÄUBUNGSBEHANDLUNGSVORRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60308871(D1) |
申请公布日期 |
2006.11.16 |
| 申请号 |
DE20036008871 |
申请日期 |
2003.07.08 |
| 申请人 |
TECMACHINE |
发明人 |
AULAGNER, MICHEL;LABALME, LIONEL |
| 分类号 |
H01J37/34;H05H1/24;C23C14/34;H01J37/32 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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