MINIATURIZED BIAXIAL PIEZO ACTUATING DEVICE

摘要

Die Erfindung betrifft eine miniaturisierte Zweiachsen-Piezo-Betätigungseinrichtung mit mindestens zwei Piezoaktuatoren sowie kraftübertragenden Hebelelementen und Festkörper-Biegegelenken als insgesamt flache, tischförmige Baugruppe zur Mikropositionierung und Bewegungssteuerung von optischen, mechanischen oder sonstigen Einheiten. Erfindungsgemäß ist innerhalb eines Trägerrahmens (1) eine im wesentlichen rechteckige oder quadratische Platte (2) zur Aufnahme oder Befestigung der zu positionierenden oder zu bewegenden Einheiten vorgesehen, wobei die Platte gegenüber dem Trägerrahmen mittels der Festkörper-Biegegelenke (3-6) geführt ist und die Festkörper-Biegegelenke sich jeweils im Platteneckbereich zum Trägerrahmen erstrecken. Weiterhin ist in zwei orthogonal zueinander liegenden Achsen im Bereich zwischen Trägerrahmen und Platte jeweils mindestens ein Piezoaktor (8) angeordnet, wobei diese Piezoaktuatoren bewegungsseitig an den jeweils benachbarten, hebelartig ausgebildeten Festkörper-Biegegelenken angreifen. Das im Schnittpunkt der orthogonal zueinander liegenden Achsen befindliche Gelenk ist als Doppelgelenk zur Entkopplung der Piezoaktoren ausgebildet und das dem Doppelgelenk diagonal gegenüberliegende Gelenk wird als ein Kompensationsgelenk (7) zur Reduzierung der Verkippung der Platte ausgeführt.