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发明名称
摘要
申请公布号 JP2006526286(A) 申请公布日期 2006.11.16
申请号 JP20060508417 申请日期 2004.05.21
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/40;H01L29/47;H01L29/739;H01L29/872 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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