发明名称 |
Haltesystem für Halbleiterwafer und Verfahren davon |
摘要 |
A semiconductor wafer may be secured to a wafer support system by causing a supported surface of the semiconductor wafer to be at a lower gas pressure than an exposed surface of the semiconductor wafer. |
申请公布号 |
DE112004002610(T5) |
申请公布日期 |
2006.11.16 |
申请号 |
DE20041102610 |
申请日期 |
2004.12.28 |
申请人 |
INTEL CORPORATION |
发明人 |
WILK, BRIAN;JOYCE, FRANK;KREAGER, DOUGLAS;REPKO, THOMAS A. |
分类号 |
H01L21/68;B24B37/04;H01L21/673;H01L21/683;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/68 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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