PROCEDIMIENTO Y EQUIPO DE METROLOGIA OPTICA PARA LA DETERMINACION DE LA TOPOGRAFIA TRIDIMENSIONAL DE UN ORIFICIO, EN PARTICULAR PARA LA MEDICION DE BOQUILLAS MICROMETRICAS TRONCOCONICAS Y SIMILARES.

摘要

Un procedimiento de metrología óptica de orificios cónicos según la invención consiste en disponer el cuerpo con el orificio en un microscopio con la zona de mayor diámetro orientada hacia unos medios de iluminación centrándolo en el campo de visión de unos medios de observación y enfocar mediante iluminación extensa sobre la zona de menor diámetro midiendo su diámetro y defectos mayores. Después se cambia el plano de enfoque y se mide el contorno del orificio proyectando series de patrones midiendo la posición de los puntos del contorno del orificio cuando se superponen en el plano de una cámara del equipo las imágenes del patrón proyectado y de su reflexión en el interior del orificio. El proceso se repite y la información de los contornos medidos en los distintos planos se procesa para obtener una representación geométrica tridimensional y los parámetros característicos de la topografía del interior del orificio.