| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines epitaktischen Verbindungshalbleitersubstrats |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112004002173(T5) |
申请公布日期 |
2006.11.16 |
| 申请号 |
DE20041102173 |
申请日期 |
2004.11.08 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LTD.;TAKADA, TOMOYUKI |
发明人 |
KOHIRO, KENJI |
| 分类号 |
C23C16/30;H01L21/205;C30B25/02;C30B29/40 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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