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发明名称 METHOD FOR IMPROVING THE QUALITY OF A TAKEN THIN LAYER
摘要
申请公布号 EP1721333(A1) 申请公布日期 2006.11.15
申请号 EP20050737045 申请日期 2005.03.07
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 DAVAL, NICOLAS;AKATSU, TAKESHI;NGUYEN, NGUYET-PHUONG;RAYSSAC, OLIVIER;BOURDELLE, KONSTANTIN
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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