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发明名称
摘要
申请公布号	JP3844678(B2)	申请公布日期	2006.11.15
申请号	JP20010341191	申请日期	2001.11.06
申请人		发明人
分类号	G03F7/26;G03F7/40;G11B7/26;H01L21/027	主分类号	G03F7/26
代理机构		代理人
主权项
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