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发明名称 Device and method for determining an illumination intensity profile of an illuminator for a lithography system
摘要
申请公布号 GB0619810(D0) 申请公布日期 2006.11.15
申请号 GB20060019810 申请日期 2005.04.20
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC 发明人
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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